Біріншіден, гранит негізінің артықшылықтары
Жоғары қаттылық және төмен термиялық деформация
Граниттің тығыздығы жоғары (шамамен 2,6-2,8 г/см³) және Янг модулі 50-100 ГПа жетуі мүмкін, бұл қарапайым металл материалдардан әлдеқайда жоғары. Бұл жоғары қаттылық сыртқы діріл мен жүктеме деформациясын тиімді тежей алады және ауа қалқымалы бағыттағышының тегістігін қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, граниттің сызықтық кеңею коэффициенті өте төмен (шамамен 5×10⁻⁶/℃), алюминий қорытпасының тек 1/3 бөлігі, температураның ауытқуы жағдайында термиялық деформация дерлік жоқ, әсіресе тұрақты температура зертханалары немесе күн мен түннің арасындағы үлкен температура айырмашылығы бар өндірістік көріністер үшін қолайлы.
Тамаша демпферлік өнімділік
Граниттің поликристалды құрылымы оны табиғи демпферлік сипаттамаларға ие етеді, ал дірілді әлсірету уақыты болаттан 3-5 есе жылдамырақ. Дәл өңдеу процесінде ол қозғалтқышты іске қосу және тоқтату, құралды кесу сияқты жоғары жиілікті дірілді тиімді сіңіре алады және қозғалатын платформаның орналасу дәлдігіне резонанстың әсерін болдырмайды (типтік мән ± 0,1 мкм дейін).
Ұзақ мерзімді өлшем тұрақтылығы
Жүздеген миллиондаған геологиялық процестерден кейін гранит пайда болды, оның ішкі кернеуі баяу деформациядан туындаған қалдық кернеуден металл материалдар сияқты емес, толығымен босатылды. Тәжірибелік деректер 10 жылдық кезең ішінде гранит негізінің өлшемдерінің өзгеруі 1мкм/м-ден аз екенін көрсетеді, бұл шойын немесе дәнекерленген болат құрылымдарға қарағанда айтарлықтай жақсырақ.
Коррозияға төзімді және техникалық қызмет көрсетуді қажет етпейді
Граниттің қышқылға және сілтіге, майға, ылғалға және басқа да қоршаған орта факторларына төзімділігі күшті, тотқа қарсы қабатты металл негіз сияқты жүйелі түрде жабудың қажеті жоқ. Тегістеу және жылтыратудан кейін бетінің кедір-бұдырлығы Ra 0,2 мкм немесе одан аз болуы мүмкін, оны құрастыру қателерін азайту үшін ауа қалқымалы бағыттаушы рельстің тірек беті ретінде тікелей пайдалануға болады.
Екіншіден, гранит негізінің шектеулері
Өңдеу қиындығы және шығын мәселесі
Граниттің Mohs қаттылығы 6-7, дәл ұнтақтау үшін алмас құралдарын пайдалануды талап етеді, өңдеу тиімділігі металл материалдарының тек 1/5 бөлігін құрайды. Кірпікшелі ойықтың күрделі құрылымы, бұрандалы саңылаулар және өңдеу құнының басқа ерекшеліктері жоғары және өңдеу циклі ұзақ (мысалы, 2м × 1м платформаны өңдеу 200 сағаттан астам уақытты алады), нәтижесінде жалпы құны алюминий қорытпасынан жасалған платформаға қарағанда 30%-50% жоғары.
Морт сыну қаупі
Сығылу күші 200-300МПа жетуі мүмкін болса да, граниттің созылу күші оның тек 1/10 бөлігін құрайды. Сынғыш сыну қатты соққы жүктемесінде оңай пайда болады, ал зақымдануды жөндеу қиын. Құрылымдық дизайн арқылы кернеудің шоғырлануын болдырмау керек, мысалы, дөңгелектелген бұрыштық өтулерді пайдалану, тірек нүктелерінің санын көбейту және т.б.
Салмақ жүйе шектеулерін әкеледі
Граниттің тығыздығы алюминий қорытпасынан 2,5 есе көп, бұл платформаның жалпы салмағының айтарлықтай өсуіне әкеледі. Бұл тірек құрылымының көтеру қабілетіне жоғарырақ талап қояды және динамикалық өнімділікке жоғары жылдамдықты қозғалысты қажет ететін сценарийлердегі инерция мәселелері әсер етуі мүмкін (мысалы, литографиялық пластиналар кестесі).
Материалдық анизотропия
Табиғи граниттің минералды бөлшектердің таралуы бағытталған, ал әртүрлі позициялардың қаттылығы мен термиялық кеңею коэффициенті сәл өзгеше (±5% шамасында). Бұл материалды қатаң таңдау және гомогенизациялау өңдеу (мысалы, жоғары температурада күйдіру) арқылы жақсартуды қажет ететін ультра дәлдіктегі платформалар үшін (наносөлшемді орналастыру сияқты) елеусіз қателерді енгізуі мүмкін.
Жоғары дәлдіктегі өнеркәсіптік жабдықтың негізгі құрамдас бөлігі ретінде дәлдіктегі статикалық қысымды ауа қалқымалы платформасы жартылай өткізгіштерді өндіруде, оптикалық өңдеуде, дәл өлшеуде және басқа салаларда кеңінен қолданылады. Негізгі материалды таңдау платформаның тұрақтылығына, дәлдігіне және қызмет ету мерзіміне тікелей әсер етеді. Бірегей физикалық қасиеттері бар гранит (табиғи гранит) соңғы жылдары мұндай платформалық негіздер үшін танымал материал болды.
Жіберу уақыты: 09 сәуір 2025 ж