Жартылай өткізгіш жабдықтардағы дәл гранит компоненттерінің 8 типтік қолданылуы

«Нанометр» стандартты өлшем бірлігі болып табылатын жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде жабдықтың құрылымдық тұтастығы талқыланбайды. Чип түйіндері 5 нм-ге дейін және одан да кішірейген сайын, дірілді басуға және термиялық тұрақтылыққа деген сұраныс шегіне жетеді. Дәл гранит компоненттері жоғары сапалы нұсқадан жартылай өткізгіш өндірісінің маңызды «ДНҚ-сына» айналды.

Жоғары тұрақтылықтағы жабдық құрылымдарының жетекші жеткізушісі ретінде ZHHIMG® гранит зауыттың үнсіз қаһарманы болып табылатын сегіз ең маңызды қолданылу саласын талдайды.

1. Литография машинасының негіздері

Литография машинасы жартылай өткізгіш тізбектегі ең күрделі жабдық болып табылады. Негізі мінсіз қозғалмай тұрып, үлкен оптикалық жүйелерді қолдауы керек. Граниттің жоғары тығыздығы және ішкі демпфері оған қоршаған ортадан микротербелістерді сіңіруге мүмкіндік береді, бұл жарық көзінің атом деңгейінде туралануын қамтамасыз етеді.

2. Ауа мойынтірегінің қозғалыс кезеңдері

Жоғары жылдамдықты пластиналарды тасымалдау үйкеліссіз қозғалысты қажет етеді. Гранитті микроннан кіші жазықтыққа дейін тегістеуге болатындықтан, ол ауа төсеу технологиясы үшін тамаша серіктес болып табылады. «Ауа жастығы» гранит бетінде тозусыз сырғанайды, бұл сканерлеу және орналастыру үшін қажетті өте тегіс қозғалысты қамтамасыз етеді.

3. Вафлиді тексеру және метрология платформалары

Оюдан кейін пластиналарды ақауларға тексеру қажет. Машина рамасындағы кез келген термиялық кеңею «жалған оң нәтижеге» немесе жіберіп алынған ақауға әкелуі мүмкін.Дәл гранит компоненттерітексеру деректері машинаның бұрмалануын емес, пластина бетінің шынайы көрінісі екеніне көз жеткізе отырып, термиялық инертті ортаны қамтамасыз етеді.

4. Порталды қозғалыс жүйелері (көпір құрылымдары)

Жоғары жылдамдықты кесу немесе сыммен байланыстыру кезінде «көпір» немесе дробаль шайқалмай тез қозғалуы керек. Гранит дробаль шойынмен салыстырғанда қаттылық пен масса қатынасының жоғары деңгейін ұсынады, бұл «тұну уақытын» айтарлықтай қысқартады — машина келесі тапсырманы орындамас бұрын дірілдің тоқтауын күтуі керек уақыт.

5. Лазерлік жөндеу жабдықтарының жақтаулары

Маскада немесе пластинада ақау табылған кезде, дәл жөндеу үшін лазерлер қолданылады. Бұл үшін толығымен магниттік емес және өткізбейтін құрылымдық негіз қажет. Гранит табиғи оқшаулағыш болып табылады, бұл электромагниттік кедергілердің нәзік лазер жолына әсер етуіне жол бермейді.

6. Таза бөлмелерге арналған CMM (координаталық өлшеу машиналары)

Жартылай өткізгіш қондырғыдағы сапаны бақылау үшін таза бөлменің қатаң хаттамаларына төтеп бере алатын CMM қажет. Бөлшектерді шығарып немесе тотықтырып жібере алатын металдан айырмашылығы, гранит қышқылға төзімді және тот баспайды, қоршаған ортаны ластамай, жабдықтың жоғары тұрақтылығын сақтайды.

7. Химиялық механикалық жылтырату (ХМЖ) негіздері

CMP процесі металдарға өте коррозиялық әсер ететін шламдар мен химиялық заттарды қамтиды. Граниттің табиғи химиялық төзімділігі оны жылтырату қондырғыларының құрылымдық негізі үшін тамаша материал етеді, тіпті қатал химиялық ортада да ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді.

8. Иондық имплантация жүйелері

Иондық имплантациялау құрылғыларындағы жоғары вольтты орталар иондық сәулелерге кедергі келтірмейтін немесе электрлік доға тудырмайтын компоненттерді қажет етеді. Граниттің диэлектрлік қасиеттері оны сезімтал электрлік және вакуумдық компоненттерді орнату үшін қауіпсіз және тұрақты таңдау етеді.

Неліктен жартылай өткізгіш инфрақұрылым үшін ZHHIMG®?

ZHHIMG® компаниясында біз жартылай өткізгіш жабдықтың негізі тек тас кесегінен артық екенін түсінеміз — ол калибрленген құрал. Біздің мамандандырылған қара гранитіміз 30 жылдан астам уақыт бойы қолмен тегістеу тәжірибемізбен бірге микронға дейінгі дәуірдің қатаң талаптарына сай келетін жазықтық пен параллелизм дәрежелеріне қол жеткізуге мүмкіндік береді.

• Материал: жоғары тығыздықтағы, ультра ұсақ түйіршікті ZHHIMG® қара граниті.

• Дәлдік: DIN 876 00-сыныпқа немесе JIS/ASME арнайы сипаттамаларына сәйкес дәлдік бағалары.

• Теңшеу: 10 000 м² тұрақты температуралы шеберханаларымызда алдын ала орнатылған интеграцияланған ендірмелер, Т-тәрізді ұялар және ауа өткізгіш жолдар.