Жартылай өткізгіштерді өндіру, дәлдікпен оптикалық тексеру және наноматериалды өңдеу сияқты алдыңғы қатарлы салаларда жабдықтың тұрақтылығы мен дәлдігі өнімнің сапасы мен өндіріс тиімділігін тікелей анықтайды. Шойынға қарағанда алты есе демпферлік өнімділігі бар гранитті дәл платформалар саладағы жаңа фаворитке айналуда. Бұл өнімділік артықшылығының артында қандай алмастырылмайтын құндылықтар жатыр? Гранитті дәл платформаларды таңдаудың негізгі артықшылықтарын бірге зерттейік.
1. Ең жоғары дәлдік кепілдігі, кішігірім қателер енді проблема емес
Наноөлшемді өндіріс дәуірінде кез келген азғантай діріл өнімнің сынуына әкелуі мүмкін. Шойын негізі жабдықтың жұмысы немесе сыртқы ортаның кедергісі нәтижесінде пайда болатын дірілмен бетпе-бет келгенде, оның жеткіліксіз демпферлік көрсеткіштеріне байланысты діріл энергиясының тез таралуы қиын, соның салдарынан жабдықтың негізгі құрамдас бөліктері орын ауыстырады немесе шайқалады. Керемет демпферлік сипаттамалары бар гранитті дәлдік платформасы дірілдің берілуін және күшеюін тиімді басатын діріл энергиясын бір сәтте диссипациялау үшін жылу энергиясына айналдыра алады.
Мысал ретінде жартылай өткізгіш фотолитография машинасын алайық. Гранитті дәлдік платформасын қабылдағаннан кейін линзаның діріл амплитудасы ± 8 мкм-ден ± 1,3 мкм-ге дейін төмендеп, чип үлгісінің сызық енінің қателігін 75%-ға азайтты және чиптің өндірістік дәлдігін айтарлықтай жақсартты. Дәлдік оптикалық тексеру кезінде ол тексеру құралының оптикалық линзасының тұрақты болуын қамтамасыз ете алады, бұл дірілден туындаған кескіннің бұлдырлануын және деректердің ауытқуын болдырмайды және 0,1 мкм деңгейінде тіпті кішкентай ақауларды жасыруға болмайды.
Екіншіден, оның қызмет ету мерзімі өте ұзақ және жалпы шығындарды азайтады
Ұзақ мерзімді және жиі діріл мен соққы кезінде шойын негізі ішіндегі микро-жарықтарға бейім, бұл құрылымдық беріктіктің төмендеуіне әкеледі. Оны 3-5 жылдан кейін ауыстыру қажет, бұл жабдықтың тоқтау уақытын көбейтіп қана қоймайды, сонымен қатар техникалық қызмет көрсету мен ауыстыруға жоғары шығындар әкеледі. Гранит иондық және коваленттік байланыстар арқылы тығыз біріктірілген кварц және дала шпаты сияқты минералды кристалдардан тұрады. Ол тығыз және біркелкі құрылымға ие және күшті шаршауға төзімділікке ие.
Он мыңдаған діріл циклдарынан кейін де, гранитті дәлдік платформасы әлі де тұрақты физикалық және механикалық қасиеттерді сақтай алады және оның қызмет ету мерзімі шойын негізіне қарағанда үш еседен астам болуы мүмкін. Белгілі бір дәлдік аспаптарын шығаратын кәсіпорынның статистикасы гранитті дәлдік платформаларын пайдаланғаннан кейін жабдыққа қызмет көрсету жиілігі 60%-ға азайып, орташа жылдық шығын үнемдеу бір миллион юаньнан асқанын көрсетеді.
Үш. Қоршаған ортаға тамаша бейімделу, күрделі жұмыс жағдайларын оңай өңдеу
Нақты өндірістік ортада температураның өзгеруі, электромагниттік кедергі және химиялық коррозия сияқты факторлар жабдықтың жұмысына әсер етуі мүмкін. Шойын негізі салыстырмалы түрде жоғары жылу кеңею коэффициентіне ие және температураның ауытқуы кезінде өлшемдік өзгерістерге бейім, бұл өз кезегінде жабдықтың дәлдігіне әсер етеді. Сонымен қатар, оның коррозияға төзімділігі нашар және химиялық заттардың эрозиясы кезінде тот және деформацияға бейім.
Граниттік дәлдік платформаларының термиялық кеңею коэффициенті өте төмен (шойынның 1/20 ғана), ол температураның өзгеруінен болатын әсерге тиімді қарсы тұра алады. Оның тұрақты химиялық қасиеттері бар және қышқыл немесе сілтілі заттармен әрекеттеспейді және жартылай өткізгіш шеберханалары мен химиялық зертханалар сияқты күрделі орталарда тұрақты жұмыс істей алады. Сонымен қатар, гранит электр өткізбейтін және магниттік емес және электромагниттік кедергілерге әсер етпейді, одан әрі жабдық жұмысының тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
Төртіншіден, салалық тәжірибе кәсіпорындардың бәсекеге қабілеттілігін алға жылжытуға көмектесетінін растады
Әртүрлі салалардағы көптеген жетекші кәсіпорындардың тәжірибесі гранитті дәлдік платформаларының құндылығын толығымен көрсетті. Ірі жаһандық жартылай өткізгіш зауыты гранитті дәлдік платформасын ауыстырғаннан кейін, чиптің өнімділігі 78% -дан 92% -ға дейін өсті, ал өндірістік қуаттылық 30% -ға өсті. Жоғары деңгейлі оптикалық құралдарды өндіруші осы платформаны қабылдағаннан кейін оның өнімдерінің анықтау дәлдігі саладағы жетекші деңгейге жетті және ол көбірек халықаралық тапсырыстарды жеңіп алды.
Дәлдік өндірістегі бүгінгі күндегі қатал бәсекелестік жағдайында гранитті дәлдік платформаларын таңдау өндірістік жабдықтың өнімділігін жаңарту ғана емес, сонымен қатар кәсіпорындар үшін өнім сапасын жақсарту, шығындарды азайту және нарықтың бәсекеге қабілеттілігін арттыру бойынша негізгі шешім болып табылады. Технологияның үздіксіз дамуымен гранитті дәлдік платформалары саланың жоғары дәлдік пен жоғары тиімділікке қарай дамуына ықпал ететін көптеген салаларда маңызды рөл атқаратыны сөзсіз.
Хабарлама уақыты: 14 мамыр 2025 ж