1208/5000 Граниттік дәлдік платформасын таныстыру: шойыннан алты есе жоғары демпферлік өнімділікпен, неге ол дәлдік өндірісі үшін «соңғы таңдау» болып табылады?

Жартылай өткізгіштер өндірісі, дәл оптикалық тексеру және наноматериалдарды өңдеу сияқты озық салаларда жабдықтың тұрақтылығы мен дәлдігі өнім сапасы мен өндіріс тиімділігін тікелей анықтайды. Шойыннан алты есе көп демпферлік өнімділікке ие гранитті дәлдік платформалары саладағы жаңа сүйіктіге айналуда. Бұл өнімділік артықшылығының артында қандай алмастырылмайтын құндылықтар жатыр? Граниттен жасалған дәлдік платформаларын таңдаудың негізгі артықшылықтарын бірге зерттейік.
1. Дәлдіктің толық кепілдігі, кішігірім қателіктер енді мәселе емес
Наноөлшемді өндіріс дәуірінде кез келген аздаған діріл өнімнің істен шығуына әкелуі мүмкін. Шойын негізі жабдықтың жұмысынан немесе сыртқы ортаның араласуынан туындайтын дірілге тап болған кезде, оның демпферлік өнімділігі жеткіліксіз болғандықтан, діріл энергиясын тез тарату қиын, бұл жабдықтың негізгі компоненттерінің ығысуына немесе шайқалуына әкеледі. Граниттен жасалған дәл платформа, керемет демпферлік сипаттамаларымен, діріл энергиясын лезде тарату үшін жылу энергиясына айналдыра алады, дірілдің берілуі мен күшейтілуін тиімді түрде басады.

дәлдік граниті33

Мысал ретінде жартылай өткізгіш фотолитография машинасын алайық. Гранит дәлдік платформасын қабылдағаннан кейін, линзаның діріл амплитудасы ±8 мкм-ден ±1,3 мкм-ге дейін төмендеді, бұл чип үлгісінің сызық ені қателігін 75%-ға азайтты және чиптің өндіріс дәлдігін айтарлықтай жақсартты. Дәл оптикалық тексеруде ол тексеру құралының оптикалық линзасының тұрақты болуын қамтамасыз ете алады, дірілден туындаған кескіннің бұлыңғырлануын және деректердің ауытқуын болдырмайды және тіпті 0,1 мкм деңгейіндегі ұсақ ақауларды жасыратын жер қалдырмайды.
Екіншіден, оның қызмет ету мерзімі өте ұзақ және жалпы құны төмендейді
Ұзақ мерзімді және жиі діріл мен соққы кезінде шойын негізінің ішінде микрожарықтар пайда болады, бұл құрылымдық беріктіктің төмендеуіне әкеледі. Оны 3-5 жылдан кейін ауыстыру қажет, бұл жабдықтың тоқтап қалу уақытын арттырып қана қоймай, сонымен қатар жоғары техникалық қызмет көрсету және ауыстыру шығындарын тудырады. Гранит кварц және дала шпаты сияқты минералды кристалдардан тұрады, олар иондық және коваленттік байланыстар арқылы тығыз байланысты. Оның тығыз және біркелкі құрылымы бар және шаршауға төзімділігі жоғары.

Он мыңдаған діріл циклдерінен кейін де гранитті дәлдік платформасы тұрақты физикалық және механикалық қасиеттерді сақтай алады, ал оның қызмет ету мерзімі шойын негізіне қарағанда үш еседен астам болуы мүмкін. Белгілі бір дәлдіктегі аспаптарды шығаратын кәсіпорынның статистикасы гранитті дәлдік платформаларын қолданғаннан кейін жабдықтарды күтіп ұстау жиілігі 60%-ға төмендегенін және орташа жылдық шығындарды үнемдеу бір миллион юаньнан асқанын көрсетеді.
Үшіншіден, қоршаған ортаға тамаша бейімделу, күрделі жұмыс жағдайларын оңай басқару
Нақты өндірістік ортада температураның өзгеруі, электромагниттік кедергі және химиялық коррозия сияқты факторлар жабдықтың жұмысына әсер етуі мүмкін. Шойын негізінің жылулық кеңею коэффициенті салыстырмалы түрде жоғары және температура ауытқуы кезінде өлшемдердің өзгеруіне бейім, бұл өз кезегінде жабдықтың дәлдігіне әсер етеді. Сонымен қатар, оның коррозияға төзімділігі төмен және химиялық заттардың эрозиясында тот басуға және деформацияға бейім.

Гранит дәлдік платформаларының жылу кеңею коэффициенті өте төмен (шойынның тек 1/20 бөлігі), ол температураның өзгеруінің әсеріне тиімді қарсы тұра алады. Ол тұрақты химиялық қасиеттерге ие және қышқыл немесе сілтілі заттармен әрекеттеспейді және жартылай өткізгіш шеберханалар мен химиялық зертханалар сияқты күрделі ортада тұрақты жұмыс істей алады. Сонымен қатар, гранит өткізбейтін және магнитті емес, электромагниттік кедергілерге ұшырамайды, бұл жабдықтың жұмысының тұрақтылығын одан әрі қамтамасыз етеді.
Төртіншіден, салалық тәжірибе кәсіпорындардың бәсекеге қабілеттілігін арттыруға көмектесетінін растады
Әртүрлі салалардағы көптеген жетекші кәсіпорындардың тәжірибесі гранитті дәлдік платформаларының құндылығын толық көрсетті. Әлемдік ірі жартылай өткізгіш зауыт гранитті дәлдік платформасын ауыстырғаннан кейін чиптің өнімділік деңгейі 78%-дан 92%-ға дейін өсті, ал өндірістік қуат 30%-ға артты. Жоғары деңгейлі оптикалық аспаптар өндірушісі осы платформаны қабылдағаннан кейін, оның өнімдерінің анықтау дәлдігі салалық жетекші деңгейге жетті және ол көптеген халықаралық тапсырыстарды жеңіп алды.

Қазіргі кездегі дәлдік өндірісіндегі бәсекелестіктің күшеюі жағдайында гранитті дәлдік платформаларын таңдау тек өндіріс жабдықтарының өнімділігін арттыру ғана емес, сонымен қатар кәсіпорындар үшін өнім сапасын жақсарту, шығындарды азайту және нарықтық бәсекеге қабілеттілікті арттыру бойынша маңызды шешім болып табылады. Технологияның үздіксіз дамуымен гранитті дәлдік платформалары көптеген салаларда маңызды рөл атқаратыны сөзсіз, бұл саланың жоғары дәлдік пен жоғары тиімділікке қарай дамуына ықпал етеді.

дәлдік граниті09


Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 14 мамыр